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Electronics Gases
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Carbon Monoxide（CO）
Chlorine（Cl2）
Deuterium(D2)
Diborane (B2H6)
Dichlorosilane (SiH2Cl2)
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Germane (GeH4)
Gases H
Halocarbon 14（CF4）
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Hexafluoro-1,3-butadiene(C4F6)
Hydrogen Chlorine（HCl）
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Krypton(Kr)
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Phosphine (PH3)
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Trimethylboron[B(CH3)3
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Gas Mixtures
Diborane Mixture(1% Bal H2)
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Germane Mixture (10% Bal H2)
Phosphine Mixture (1% Bal H2)
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