SDS落户中国
欄目:行業動態 發佈時間:2017-09-20
本文选自《化合物半导体》杂志文章。

SDS® 落戶中國

中國已經成為全球最大的半導體市場,但自給率僅有27%。中國政府在十三五規劃中國製造2025”中制定了明確的目標,至2020年晶片自給率達到40%,至2025年晶片自給率達到50%。在各方面龐大資金與政府的相關政策扶持下,近年來,中國半導體建設蓬勃發展。據統計,2017-2018年,中國大陸將有10座晶圓廠投產,預計未來5年內,中國各地合計將新建18座晶圓廠,其中大部分為12吋晶圓廠。

中國半導體產業的快速發展,帶動半導體材料需求增長,包括對於半導體生產用特殊氣體的需求。為滿足國內半導體業對電子氣體的需求,近日,博純材料與美國Entegris公司合作專案——特殊氣體材料專案在福建泉州投產運營。

在半導體製造過程中,常會使用具有危害性及毒性的氣體。在今日的製造業流程中,這些氣體通常都是藉由被壓縮或是液化等方式,以高密度的形態(例如高壓氣體鋼瓶)被運送。但因為高壓氣體的意外釋放,或是因為氣瓶本身洩漏而造成的危險氣體排出,可導致在附近的工作人員瞬間遭受嚴重傷害或是死亡,所以對於那些具有高毒性或是危險性的氣體種類,以高壓鋼瓶儲存已不再是合宜的儲存及運送方式。取而代之的、同時也已演變為標準的操作方式,是使用具有納米級孔洞的基材,用吸附或是鍵結等方式攜帶氣體分子,使鋼瓶內壓力得以減低,從而減低氣體意外洩漏的機會。因此,具有高度安全性的SDS® 技術越來越受到關注。

 

SDS® 是什麼技術?

SDS® Safe Delivery Source® 的縮寫,意為其在危險氣體的儲存、運送上,具備更高度安全性。

SDS®系統通過採用填充納米級碳吸附劑的負壓氣體鋼瓶,實現安全而有效率地用於危險氣體相關操作。碳材質上的納米級孔洞提供了對氣體分子的吸附力,能確實預防氣體的意外洩漏並且提升其使用效率。

SDS®系統使用了稱為BrightBlack®的吸附材料,對氣體分子具有自然吸引力;當氣體分子遇到吸附材料時,會受到該固態材料的吸引,進入該材料的孔洞內並且固著在其中。經精密計算後BrightBlack®碳材,對不同的危險氣體分子,皆能達到理想的物理吸附程度。

 

SDS® 落戶博純工廠

2017815日,SDS技術擁有者,特殊材料領導者 Entegris Inc.,攜手特殊化學品製造商和經銷商博純材料(福建)有限公司,就SDS技術開展合作,為半導體製造工藝中使用的特殊氣體產品正式在博純工廠投入生產運營,讓先進的SDS技術落戶博純的福建省泉州市新化學工廠。

Entegris 是首家當地語系化生產特殊氣體產品的國際材料公司,旨在為中國日益增長的半導體市場提供支援。Entegris 首席運營官 Todd Edlund 在盛大開幕活動上表示:此次合作是我們持續計畫的一部分,通過當地語系化生產和技術支援更好地服務于中國客戶,滿足他們對於製造和工藝開發的需求我們與博純材料合作,為我們的特殊化學品在中國生產建造出了世界一流的工廠。

博純材料創始人、董事會主席兼首席執行官陳國富表示:電子氣體非常重要性,如果用大腦來比喻晶片,晶圓就是腦組織,電子氣體就是製造腦神經和腦細胞的主要材料。2016年全球電子氣體市場規模約39億美元,其中中國大陸電子氣體市場規模每年約4.5億美元,但國內半導體業使用的高純電子特殊氣體幾乎全部依賴進口。

博純材料泉州工廠占地 55000 m213.6 英畝),包括兩個 2.3 級危險品庫房以及 20 多個電子氣體包裝、純化和合成工藝中心。該工廠可在國內製造世界上最先進的半導體離子注入材料,同時創造了當地就業機會。該工廠位於中國福建省泉州市永春縣大榮村。

中國半導體行業協會資訊交流部主任任振川認為,未來三到五年中國積體電路產業預計將保持年均20%的增長。目前國內半導體材料絕大部分仍依賴進口,本土半導體材料廠商僅能滿足約20%的需求,且大多為中低端材料。國內半導體材料市場潛力巨大,也期待更多國內外企業展開合作。